德國MBE-Komponenten 分子束外延 OCTOPLUS 500 系統(tǒng)
OCTOPLUS 500 系統(tǒng)是為了在6英寸襯底上生長高質(zhì)量的III/V族或者II-VI族異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料而研發(fā)的。樣品臺選用熱解石墨加熱或者鎢、鉭加熱絲。OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)是*的非常適合于III/V族, II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料生長應(yīng)用研發(fā)與生產(chǎn)。
OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)的主要特點(diǎn)是*的可靠性和普適性。標(biāo)準(zhǔn)的Octoplus 500有11個呈放射狀分布的源孔,可以根據(jù)需要增選3個源孔??焖俪檎婵者M(jìn)樣室配有水平磁力桿傳輸系統(tǒng),可以在不破壞MBE腔室真空的前提下,簡便地進(jìn)行樣品傳輸。
OCTOPLUS 500 MBE系統(tǒng)的的主要參數(shù)規(guī)格:
● ID 550 mm
● 應(yīng)用于III/V族, II/VI族或其他異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料
● 6英寸晶片,或7x2英寸晶片
● 進(jìn)樣室和緩沖腔室
● 線性樣品傳輸系統(tǒng)
● 標(biāo)準(zhǔn)法蘭孔數(shù)目(標(biāo)準(zhǔn)11個,可按要求增加3個)
● 束流源,氣體源,樣品臺
● 抽真空系統(tǒng)(離子吸附泵,分子泵,低溫泵等)
● 原位表征能力
● 軟件/硬件控制系統(tǒng)
● 額外要求可定制