英國(guó)HHV Auto306 科研工作者和電子顯微學(xué)家的多功能鍍膜設(shè)備
HHV Auto306是一種多功能的緊湊型鍍膜設(shè)備,設(shè)計(jì)用于滿足科研工作者和電子顯微學(xué)家的需求。Auto306可配備各種真空系統(tǒng)、真空腔室和標(biāo)準(zhǔn)化工藝附件,提供一系列實(shí)驗(yàn)技術(shù)以滿足現(xiàn)代化實(shí)驗(yàn)室的需要。
Auto306可選擇配置鐘罩式玻璃腔室、圓柱形玻璃腔室,也可以配置通用的FL400前開門式不銹鋼箱式腔室。FL400腔室具有額外的高度與寬度,適用于安裝較多的工藝附件。
客戶可選擇的模塊化工藝附件,包括熱阻蒸發(fā)源及其控制電源、電子束蒸發(fā)源、遮擋板、基片夾具以及膜厚監(jiān)控儀等。
真空系統(tǒng)由觸屏PLC控制和監(jiān)控,易于操作;高真空泵選擇包括擴(kuò)散泵、渦輪分子泵、冷凝泵,并使用油封或干式泵作為支持泵。集成的具有備用電池的高真空閥門可在意外情況時(shí)保護(hù)泵和樣品。