說明：
此系統(tǒng)是卓立漢光推出的針對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行微操作、檢驗(yàn)的通用開發(fā)平臺(tái)。系統(tǒng)中包括：半導(dǎo)體晶圓裝夾單元、半導(dǎo)體晶圓對(duì)位單元、機(jī)器視覺單元和微操作機(jī)械手單元，配套有完整的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺軟件?？梢愿鶕?jù)客戶不同的需求，實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行裝夾、對(duì)位、轉(zhuǎn)印、清潔、檢驗(yàn)等功能。
半導(dǎo)體晶圓微操作、檢驗(yàn)設(shè)備特點(diǎn)：
- 系統(tǒng)包含完整的裝夾和對(duì)位結(jié)構(gòu)，可以根據(jù)客戶實(shí)際需求定制
- 控制系統(tǒng)和機(jī)器視覺系統(tǒng)留有二次開發(fā)接口
- 兼容客戶不同的晶圓結(jié)構(gòu)，不同的Mark點(diǎn)圖形、進(jìn)行不同的操作動(dòng)作
- 可對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行多維度微步調(diào)整
- 多工位配置，提高工作效率
系統(tǒng)參數(shù)：（本系列產(chǎn)品為設(shè)計(jì)規(guī)格，技術(shù)指標(biāo)以最終發(fā)布內(nèi)容為準(zhǔn)）
指標(biāo) | 參數(shù) |
機(jī)器視覺分辨率(μm) | 0.1 |
顯微鏡倍率 | 0.5~4.5 |
攝像頭分辨率 | 2048×1536 |
幀率（fps） | 15 |
攝像頭類型 | 單色 |
光源 | 單色同軸光源 |
Mark點(diǎn)識(shí)別重復(fù)性(μm) | 0.1 |
Mark點(diǎn)識(shí)別對(duì)位精度(μm) | <0.5 |
大行程X軸滑臺(tái)行程（mm） | 400 |
大行程Y軸滑臺(tái)行程（mm） | 200 |
大行程重復(fù)定位精度（μm） | 1 |
大行程運(yùn)動(dòng)分辨率（μm） | ±1 |
精密對(duì)位X軸滑臺(tái)行程（mm） | 10 |
精密對(duì)位Y軸滑臺(tái)行程（mm） | 10 |
精密對(duì)位Z軸滑臺(tái)行程（mm） | 20 |
精密對(duì)位線性維度單向重復(fù)定位精度（μm） | ±1 |
精密對(duì)位線性運(yùn)動(dòng)分辨率（μm） | 0.1 |
精密對(duì)位θZ軸滑臺(tái)行程（°） | 5 |
晶圓工位（個(gè)） | 2 |
晶圓真空吸附通道（路） | 4 |
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