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簡(jiǎn)單介紹:1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計(jì)和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進(jìn)行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時(shí)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計(jì)和機(jī)械式壓力表,可以用來(lái)控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時(shí)1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩......
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