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簡(jiǎn)單介紹:1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)采用高純石英制作爐管。旋轉(zhuǎn)裝置為風(fēng)冷法蘭,摩擦傳動(dòng),傾角(0-15°)任意可調(diào)。管式爐三個(gè)溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫,通過(guò)調(diào)節(jié)各個(gè)溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長(zhǎng)的恒溫區(qū)域。1200℃三路供氣低真空度旋轉(zhuǎn)CVD系統(tǒng)每個(gè)溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,......
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