產(chǎn)品介紹:
1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)由單溫區(qū)管式爐、三路質(zhì)量流量計和高真空分子泵租組成。管式爐由精密控溫儀表進行PID控溫,可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空計和機械式壓力表,可以用來控制路管內(nèi)的氣氛環(huán)境。同時1200℃單溫區(qū)3路質(zhì)量供氣高真空CVD系統(tǒng)管式爐采用高清真彩觸控屏操作,簡單易上手,即使是非專業(yè)人員經(jīng)過簡單的培訓也可以熟練掌握儀器的使用方法,能夠的提高您的實驗效率。
系統(tǒng)所配有的三路質(zhì)量流量計,精度高可靠性強,可以混合1-3路氣體,操作面板采用數(shù)字顯示,直觀高效,若客戶有特殊需要也可以聯(lián)系技術(shù)人員定制任意數(shù)量的氣路。
適用范圍:
適用于高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫燒結(jié)、金屬退火、質(zhì)量檢測等,尤其適合需要多種氣體混合的氣氛環(huán)境的CVD實驗。
技術(shù)參數(shù):
真 空 管 式 爐 產(chǎn)品型號 CY-O1200-50IT 爐管材質(zhì) 高純石英 爐管直徑 50mm(可選配60mm、80mm、100mm) 爐管長度 800mm 爐膛長度 440mm 加熱區(qū)長 400mm 恒溫區(qū)長 200mm 工作溫度 0~1100℃ 控溫精度 ±1℃ 控溫模式 30段或50段程序控溫 顯示模式 LCD 密封方式 304不銹鋼真空法蘭 法蘭接口 1/4英寸卡套接頭、KF16/25/40接頭 可抽真空 4.4E-3Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz 供 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號 CY-3Z 氣體通道 3通道 測量部件 氣體質(zhì)量流量計 測量量程 A通道:0~100SCCM H2氣 備注:如需其它量程或氣體種類,定貨時需要特別注明??筛鶕?jù)客戶的具體要求來選配對應(yīng)的氣體種類和量程的流量計。 B通道:0~300SCCM N2氣 C通道:0~500SCCM Ar氣 測量精度 ±1.0%F.S 管道耐壓 3MPa 工作壓差 50~300KPa 連接管道 304不銹鋼 控制閥門 304不銹鋼針閥 接口規(guī)格 進氣口和出氣口為1/4英寸卡套接頭 供電電源 AC:220V 50/60Hz 排 氣 系 統(tǒng) 產(chǎn)品型號 CY-GZK103-A 分子泵 CY-600 前極泵 旋片泵 抽氣速率 分子泵:600L/S 綜合抽氣性能:20分鐘真空度可達:1.0E-3Pa 旋片泵:1.1L/S 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 真空測量 復合真空計:電阻規(guī)+電離規(guī) 極限真空 1.0E-5Pa 供電電源 AC:220V 50/60Hz
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