充氦真空系統(tǒng)

應(yīng)用領(lǐng)域

    充氦真空系統(tǒng)主要用于氦光泵磁力儀組件制備時的抽真空、除氣和充氣，是八工位、無油超高真空系統(tǒng)。應(yīng)用于磁傳感器領(lǐng)域的科學研究。

技術(shù)性能

1. 設(shè)備為雙真空系統(tǒng)；
2. 常溫、空載狀態(tài)：工位極限真空度進入10^-9Pa量級；鐘罩極限真空度5×10^-2Pa；
3. 系統(tǒng)靜態(tài)真空度：5分鐘內(nèi)優(yōu)于5×10^-5Pa，20分鐘內(nèi)維持在10^-5Pa量級；
4. 工位接口數(shù)量：8工位，圓周分布；
5. 采用真空鐘罩對工件進行烘烤，鐘罩加熱溫度500℃，工作溫度200℃，控溫精度±1℃；鐘罩升溫速率0.2~6℃/min。