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AFM德國(guó)Nanoanalytik(ParcanNano)高速原子力顯微鏡,它使用主動(dòng)式智能針尖,集傳感器、驅(qū)動(dòng)器和可功能化的針尖于一身,實(shí)現(xiàn)自激發(fā)和自傳感,無(wú)需復(fù)雜的激光校準(zhǔn),是取代現(xiàn)有AFM激光傳感的巨大改進(jìn)。該系統(tǒng)可在大氣、液態(tài)及真空環(huán)境下實(shí)現(xiàn)對(duì)微納米結(jié)構(gòu)的高速、高效表征,成像精度達(dá)到0.2納米的極限精度。
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