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簡單介紹:1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)由三溫區(qū)管式爐和三路浮子流量計(jì)組成。管式爐三個溫區(qū)分別由精密控溫儀表獨(dú)立控溫,通過調(diào)節(jié)各個溫區(qū)的溫度,該管式爐可以在加熱區(qū)內(nèi)形成三段溫度梯度或是形成較長的恒溫區(qū)域。1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)每個溫區(qū)均可編輯30段升降溫程序,同時有過熱和斷偶保護(hù)功能。爐管兩側(cè)法蘭配有數(shù)字式真空......
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