- 晶圓尺寸:直徑:4",5",6",8",厚度:150~750um。
- 晶圓種類:硅片\砷化鎵\其它。
- 膜的種類:單層膜(Blue Tape )長度:100m,寬度:210~300mm,厚度:0.05~0.2mm。
- 晶圓框架:6"DISCO標(biāo)準(zhǔn)環(huán)或者8"DISCO標(biāo)準(zhǔn)環(huán)(或客戶制定標(biāo)準(zhǔn))。
- 貼膜原理:防靜電滾輪貼膜,采用導(dǎo)軌式平移滾輪,操作平穩(wěn)輕便。
- 晶圓臺盤:通用特氟龍防靜電涂層接觸式臺盤,自動控溫,根據(jù)晶片的加熱要求設(shè)定工作臺溫度,zui高達(dá)70℃。
- 裝卸方式:晶圓\框架手動放置和取出
- 防靜電控制:特氟龍防靜電涂層接觸式臺盤\防靜電滾輪,防靜電離子風(fēng)棒(需選配)
- 切割系統(tǒng):手動可調(diào)整環(huán)形切刀和直切刀
- 晶圓定位:通用標(biāo)線
- 電源電壓:單項交流電220V 10A
- 壓縮空氣:0.5Mpa干燥壓縮空氣