1、平面平晶 標準規(guī)格尺寸: 單位:mm
規(guī)格 | 30mm | 45mm | 60mm | 80mm | 100mm | 150mm | 200mm | 250mm | 300mm |
直徑 | Φ30 | Φ45 | Φ60 | Φ80 | Φ100 | Φ150 | Φ200 | Φ250 | Φ300 |
高度 | 15mm | | 20mm | 20mm | 25mm | 30mm | 40mm | 45mm | 45mm |
特殊規(guī)格尺寸平面平晶,環(huán)形,方形可定做.
2、制成精度:1級
3、工作面的平面度偏差允許值為:
直徑為 30至100mm 1級平晶 0.03μm
直徑為 100至300mm 1級平晶 0.05μm
更大尺寸平面度偏差允許值,根據(jù)國家標準。
4、工作面的局部偏差允許值為: 0.03μm
5、測量工作應(yīng)在室溫2 0℃±3℃條件下保持數(shù)小時后進行。
注:Ф200mm以上標準、環(huán)形需定做