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小型滑軌式PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-SL-PECVD

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公司名稱重慶開衡科技有限公司
品牌
型號
所在地重慶市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/7/23 12:09:47
訪問次數(shù)104

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重慶開衡科技有限公司成立于2011年，是由一批有著高等學歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動型企業(yè)。公司自成立以來，不斷拓寬資源渠道，完善產(chǎn)品結(jié)構，積累專家智庫，提高本地化服務水平。致力打造科學研究、分析檢測相關實驗室設備和消耗品“一站式”采購平臺，幫助客戶建設一個完備可靠的實驗室。一個渠道，無限解決方案。開衡科技提供所有實驗室儀器和設備的支持和供應管理，不限生產(chǎn)廠家，憑借我們專業(yè)技術和服務能力，幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。我們的產(chǎn)品包括：天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測儀器、樣品低溫存儲設備、細胞培養(yǎng)設備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實驗室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測設備、自動化設備、移液器，以及實驗室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實驗室家具等等。開衡科技以豐富的選擇，便捷的網(wǎng)絡，迅速有效的售后服務，為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位，涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務和支持。多年實干，公司在用戶中已贏得廣泛贊譽，并成為重慶地區(qū)科學儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應商之一。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

主要特點微型滑軌式PECVD系統(tǒng)，電源范圍寬：0-100W可調(diào)；溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)；濺射區(qū)域?qū)挘赫芸烧{(diào)；其精致小巧，性價比，滑軌式設計使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復合薄膜等的理想選擇，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用

小型滑軌式PECVD系統(tǒng)BTF-1200C-S-SL-PECVD 產(chǎn)品信息

主要特點

微型滑軌式PECVD系統(tǒng)，電源范圍寬：0-100W可調(diào)；溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)；濺射區(qū)域?qū)挘赫芸烧{(diào)；其精致小巧，性價比，滑軌式設計使用滑軌爐實現(xiàn)快速升溫和降溫，是實驗室生長薄膜石墨烯，金屬薄膜，陶瓷薄膜，復合薄膜等的理想選擇，也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用。

技術參數(shù)

產(chǎn)品型號：	BTF-1200C-S-SL-PECVD
實驗機理：	PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm³電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。通過反應氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應特征，從根本上改變了反應體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單。
技術參數(shù)：	開啟式真空管式滑軌爐反應腔體尺寸：Φ25、Φ50x1200mm 加熱元件：電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）加熱區(qū)長度：230mm 恒溫區(qū)長度：100mm（±1℃）工作溫度：1100℃ Z高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報警功能控溫精度：±1℃ 升溫速率：10℃/min 爐門結(jié)構：開啟式工作電源：AC220V /50HZ 額定功率：2.5KW
	真空泵和閥門采用KF25系列波紋管和手動擋板閥；真空度可達10^-3torr；數(shù)顯真空測試儀可直觀的顯示數(shù)值。
	質(zhì)量流量計控制氣路系統(tǒng)（可來圖訂制）內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計可準確的控制氣體流量；氣體流量范圍可選，誤差為±1.5%；一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥；不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動控制混合氣體輸入。
	射頻電源與匹配器電源：單相50/60Hz 220v±10% 加熱（功率）電源：2.5KW，25A 控制柜電源空氣開關：32A空氣開關薄膜生長室溫度：室溫~ 1200℃ 信號頻率：13.56 MHz±0.005% 射頻功率輸出范圍：0~100W
外型尺寸：	爐體：550×380×600mm 爐體加滑軌1500x380x620mm 供氣及真空系統(tǒng)：600×600×600mm
凈重：	100Kg
認證和	CE認證號：ZL.0 （產(chǎn)品，防偽必究）