主要特點(diǎn)
這是一款針對(duì)太陽(yáng)能硒化設(shè)計(jì)的專(zhuān)用爐,爐體上端腔體可以實(shí)現(xiàn)離子增強(qiáng)硒化功能,利用上下腔體內(nèi)的壓差實(shí)現(xiàn)硒化氣體均勻擴(kuò)散乘積在基體表面。上腔體溫度調(diào)節(jié)范圍50-600度,等離子強(qiáng)度0-500W可調(diào),下腔體0-800度可調(diào)。可以定制下腔體連續(xù)工作。
技術(shù)參數(shù)
功率 | 上爐體:1.5kw |
下?tīng)t體:5kw | |
射頻功率 | 0-500W可調(diào) |
爐膛尺寸 | 上腔體:100*100*100mm |
下腔體:240*300*100mm | |
爐膛溫度 | 上腔體:50-600度可調(diào) |
下腔體:50-800度可調(diào) | |
重量 | 220Kg |
外型尺寸 | 1200*900*1600mm |