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PECVD-500A/PECVD-S-150A 等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱重慶開衡科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地重慶市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/7/23 12:05:23
  • 訪問次數(shù)86
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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重慶開衡科技有限公司成立于2011年,是由一批有著高等學(xué)歷、優(yōu)良品質(zhì)、豐富經(jīng)驗(yàn)的專業(yè)人士組建的一家客戶驅(qū)動(dòng)型企業(yè)。 公司自成立以來,不斷拓寬資源渠道,完善產(chǎn)品結(jié)構(gòu),積累專家智庫,提高本地化服務(wù)水平。致力打造科學(xué)研究、分析檢測相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備和消耗品“一站式”采購平臺(tái),幫助客戶建設(shè)一個(gè)完備可靠的實(shí)驗(yàn)室。 一個(gè)渠道,無限解決方案。開衡科技提供所有實(shí)驗(yàn)室儀器和設(shè)備的支持和供應(yīng)管理,不限生產(chǎn)廠家,憑借我們專業(yè)技術(shù)和服務(wù)能力,幫助客戶用更少資源和更低成本提高生產(chǎn)力。 我們的產(chǎn)品包括:天平、箱類控溫系統(tǒng)、離心機(jī)、加壓電泳液相色譜、離子色譜、水質(zhì)檢測儀器、樣品低溫存儲(chǔ)設(shè)備、細(xì)胞培養(yǎng)設(shè)備、樣品離心及濃縮處理系統(tǒng)、微孔板分析儀器、實(shí)驗(yàn)室純水、恒溫產(chǎn)品、質(zhì)量控制檢測設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、移液器,以及實(shí)驗(yàn)室塑料制品和玻璃器皿、色譜柱、訂制實(shí)驗(yàn)室家具等等。 開衡科技以豐富的選擇,便捷的網(wǎng)絡(luò),迅速有效的售后服務(wù),為重慶地區(qū)各大專院校、科研院所、工業(yè)單位,涉及制藥、環(huán)監(jiān)、食品、農(nóng)業(yè)、醫(yī)學(xué)、化工、石化、材料、電子等行業(yè)的科技工作者提供服務(wù)和支持。多年實(shí)干,公司在用戶中已贏得廣泛贊譽(yù),并成為重慶地區(qū)科學(xué)儀器行業(yè)內(nèi)受尊敬的供應(yīng)商之一。
實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備
實(shí)驗(yàn)機(jī)理PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:1,電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)
PECVD-500A/PECVD-S-150A 等離子輝光滑軌PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

實(shí)驗(yàn)機(jī)理

PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:

1, 電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。

2, 通過反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡單。

主要特點(diǎn)

我公司研制的滑軌式PECVD系統(tǒng)能使整個(gè)實(shí)驗(yàn)腔體都處于輝光產(chǎn)生區(qū),輝光均勻等效,這種技術(shù)很好的解決了傳統(tǒng)等離子工作不穩(wěn)定狀態(tài),這樣離子化的范圍和強(qiáng)度是傳統(tǒng)PECVD的百倍,并解決了物料不均勻堆積現(xiàn)象。

1.與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長溫度更低。

2.使用滑軌爐可實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。

3. 設(shè)備的技術(shù)使得整管輝光均勻等效,均勻生長。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號(hào)

BTF-1200C-SL-PECVD

工作電源

AC220V /50HZ

工作電源

AC220V /50HZ

額定功率

3KW

爐管尺寸

Φ50/60/80/100(可選)*1650mm

工作溫度

1100℃

Z高溫度

1200℃

控溫精度

±1℃

升溫速率

10℃/min

加熱元件

電阻絲(Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo)

加熱區(qū)長度

440mm/220mm

恒溫區(qū)長度

200mm/100mm(±1℃)

控溫方式

模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報(bào)警功能

爐門結(jié)構(gòu)

開啟式

氣路系統(tǒng)(可定制)

1、系統(tǒng)內(nèi)部裝有高精度質(zhì)量流量計(jì)可準(zhǔn)確的控制氣體流量。2、氣體流量范圍1-1000sccm(可選),誤差為±1.5%。3、一個(gè)氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。4、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)可手動(dòng)控制混合氣體輸入。

射頻電源與匹配器500W/150W

1、電源:單相50/60Hz 220v±10%
2、加熱(功率)電源:2.5KW,25A/ 3、控制柜電源空氣開關(guān):32A空氣開關(guān)
4、生長室溫度:室溫~ 1200℃ 5、射頻頻率:13.56MHz
6、射頻功率輸出范圍:5~500W

真空機(jī)組

低真空或高真空機(jī)組(根據(jù)實(shí)際需要)


各組成部分名稱


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