一、設備特點:
Φ70x4060集熱管鍍膜生產線,產線主體Φ1500x6000水冷真空腔室4段,依次為預處理室、工藝1室、工藝2室和出樣室;產線配移動式公自轉工裝架及工裝架閉環(huán)輸送系統(tǒng),工裝架裝載量20只(Φ70);工裝架閉環(huán)輸送系統(tǒng)由橫移車及直線輸送線組成,在閉環(huán)輸送系統(tǒng)中工裝架自動運行。預處理室、工藝1室?guī)Ъ訜幔訜釡囟?00℃。工藝1室配2只圓柱靶或內裝平面靶,接直流電源用于沉積底層金屬,工藝2室配2對孿生靶接中頻電源;沉積AL、Ti、Si等構成的多層陶瓷本征吸收層;系統(tǒng)除裝卸件外,均自動運行,自動化程度較高,滿足光干涉膜、金屬陶瓷膜等選擇性吸熱膜的批生產需要。
二、性能參數:
1. 生產線尺寸:36655(L)X17500(W)X7000(H)
2. 集熱管尺寸:直徑范圍Φ70-120, 長度4060;
3. 集熱管性能:吸收率≥95% 發(fā)射率 ≤9%(300℃);
4. 設備產能:5萬支/年(20只裝);
5. 極限真空:8x10-4Pa,本底真空:3.2x10-3Pa;
6. 工藝加熱溫度(預處理室、工藝1室):300℃ 鎧裝加熱組件;
7. 磁控靶位:工藝1室:2只;工藝2室:2對孿生靶;
8. 磁控電源:直流 2套 中頻 2套;
9. 真空系統(tǒng):分子泵/前級機組+羅茨粗抽機組;
10. 工藝氣體:3路,MFC;反應氣體6段供氣,各獨立可控;
11. 隨行工裝架數量:6套(20只裝);
12. 真空腔室隔離閥:Φ1500氣動插板閥 4套;
13. 控制系統(tǒng):PC+PLC控制模式,自動/手動/修理調試功能轉換;多種工藝參數儲存,多種互鎖安全保護;
14. 系統(tǒng)水電氣:總裝機功率:約830KW
冷卻循環(huán)水量:80-100M3/H
壓縮空氣耗量:2M3/H