CHY-C2機(jī)械接觸式 數(shù)字式 數(shù)顯硅片薄膜厚度儀采用機(jī)械接觸式測(cè)量方式,嚴(yán)格按照GB/T 6618標(biāo)準(zhǔn)要求設(shè)計(jì),有效保證了測(cè)試的規(guī)范性和準(zhǔn)確性。專業(yè)適用于8英寸/12英寸晶圓板、硅片厚度精確測(cè)量,同時(shí)也滿足塑料薄膜、無(wú)紡布、銅箔、金屬鍍層、薄片、隔膜、紙張、箔片等材料的厚度測(cè)量。
機(jī)械接觸式 數(shù)字式 數(shù)顯硅片薄膜厚度儀 技術(shù)特征
l 搭載7寸IPS觸控屏,采用進(jìn)口MEAS差動(dòng)電感式位移傳感器分辨率0.1um.
l 測(cè)試過(guò)程按用戶設(shè)定程序,測(cè)量頭自動(dòng)升降測(cè)量,測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)打印
l 支持同組數(shù)據(jù)100個(gè)測(cè)量點(diǎn)數(shù)據(jù)采集,支持500組數(shù)據(jù)存儲(chǔ)/查詢
l 支持多級(jí)用戶權(quán)限管理,測(cè)試數(shù)據(jù)歷史記錄可查詢,可審計(jì)追蹤。
l 實(shí)時(shí)顯示測(cè)量結(jié)果的zuida值、最小值、平均值以及標(biāo)準(zhǔn)偏差等分析數(shù)據(jù),方便用戶進(jìn)行判斷
l 配置標(biāo)準(zhǔn)量塊用于系統(tǒng)標(biāo)定,保證測(cè)試的精度和數(shù)據(jù)一致性
l 可選配自動(dòng)進(jìn)樣裝置,實(shí)現(xiàn)無(wú)人工操作,系統(tǒng)全自動(dòng)測(cè)量
l 配備USB接口,專業(yè)測(cè)控軟件、可通過(guò)軟件操控儀器完成各項(xiàng)測(cè)量
測(cè)試標(biāo)準(zhǔn) 該設(shè)備滿足多項(xiàng)國(guó)家和國(guó)際標(biāo)準(zhǔn):GB/T 6618-2009、ISO 4593、ISO 534、ISO 3034、GB/T 6672、GB/T 451.3、 GB/T 6547、ASTM D374、ASTM D1777、TAPPI T411、JIS K6250、JIS K6783、JIS Z1702、 BS 3983、BS 4817、GB/T 24218.2
技術(shù)指標(biāo)
測(cè)試范圍 :0~2 mm(常規(guī)) 0~6 mm(可選)
分辨率 :0.1 μm
臺(tái)面有效尺寸:340mm*480mm
接觸面積 :1.77 mm2(標(biāo)配)
測(cè)量頭直徑:1.5mm(標(biāo)配)注:非標(biāo)可定制
電源: AC 220V 50Hz
外形尺寸: 630 mm(L)× 340 mm(W)×350 mm(H)
凈重: 35 kg
產(chǎn)品配置:主機(jī)、標(biāo)準(zhǔn)量塊一件、專業(yè)軟件、通信電纜、測(cè)量頭