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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀

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公司名稱深圳市萬德泉科技有限公司
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型號
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廠商性質(zhì)其他
更新時間2023/12/16 8:45:21
訪問次數(shù)221

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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用與貿(mào)易于一體的專業(yè)公司。產(chǎn)品廣泛運(yùn)用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體、科學(xué)研究、電力行業(yè)、航空航天、制造等領(lǐng)域。作為多家的真空設(shè)備及真空儀器供應(yīng)商的代理商，我們可以為客戶提供的全套真空解決方案，解決客戶真空應(yīng)用的難題，并且使客戶的成本降到。我們代理銷售的產(chǎn)品如下：瑞士Inficon （英福康）膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計(jì)、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。美國Agilent（安捷倫，原瓦里安）渦旋式干泵、分子泵、氦質(zhì)譜檢漏儀。英國Edwards （愛德華）旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。日本Hitachi Metals(原Aera）質(zhì)量流量控制器。美國MKS質(zhì)量流量控制器。美國SRS 四級質(zhì)譜殘余氣體分析儀。美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機(jī)和冷媒銷售美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應(yīng)氣體控制器。我們能提供維修業(yè)務(wù)的產(chǎn)品包括：MDC-360C/IC5/XTC2/SQC310/IC6/XTC3/等膜厚控制儀維修、inficon真空計(jì)維修，Edwards真空泵維修、inficon檢漏儀維修、AERA流量計(jì)維修。

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UL1000Fab干式氦氣檢漏儀干式氦氣檢漏儀 UL1000 FabULTRATEST™ 傳感器技術(shù) 穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。通過結(jié)合較高氦氣......

UL1000Fab干式氦氣檢漏儀產(chǎn)品信息

干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

ULTRATEST™ 傳感器技術(shù)

穩(wěn)定性和靈敏度的新疆界，

檢漏低達(dá) 10 -12 atm/css

The INFICON UL1000 Fab 移動式氦氣檢漏儀特別設(shè)計(jì)用于滿足半導(dǎo)體應(yīng)用要求。憑借環(huán)境系統(tǒng)優(yōu)先級中的簡單使用性、檢漏效率性和移動性，UL1000 Fab 在所有測量范圍中提供極快的泄漏率響應(yīng)。

通過結(jié)合較高氦氣抽氣能力和高進(jìn)氣口壓力的真空結(jié)構(gòu)，UL1000 Fab 提供的的泄漏率低達(dá) < 5x10-12 atm cc/s。專利軟件 I-CAL（智能泄漏率計(jì)算法）讓您忘記在低泄漏率范圍檢漏時較長反應(yīng)時間的煩惱，因?yàn)?UL1000 Fab 能夠?qū)λ行孤┞史秶龀隹焖夙憫?yīng)。

使用額外的 TC1000 測試盒配件，UL1000 Fab 氦氣檢漏儀為密封部件提供簡單、快速、精確的測試，如 IC 封裝、石英晶體和激光器二極管（根據(jù) MIL-STD 883，方法 1014）。

功能

15 級的寬測量范圍
較短的抽氣和響應(yīng)時間
移動式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應(yīng)時間
抑零功能和自動積分時間校正，可提供快速、可靠的測試結(jié)果
含堅(jiān)固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設(shè)計(jì)，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
旋轉(zhuǎn)式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進(jìn)行交互
自保護(hù)功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
自動吹掃循環(huán)可確保清理并隨時可進(jìn)行測試
通過電子郵件進(jìn)行軟件更新
含兩個燈絲離子源（3 年質(zhì)保）的耐用質(zhì)譜系統(tǒng)確保了較長的運(yùn)行時間和較低的維護(hù)成本
內(nèi)部校準(zhǔn)用的內(nèi)置測試漏孔確保了精確的測試結(jié)果

典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體加工工具執(zhí)行維護(hù)作業(yè)，無論是否具有自有泵支持
需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應(yīng)用
在現(xiàn)有工具中安裝前對部件執(zhí)行檢漏
工藝氣體系統(tǒng)的檢查和安裝
內(nèi)置軟件菜單“自動測漏”功能可使用 TC1000 測試盒執(zhí)行密封組件的自動測試

零件號

Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
零件號	明細(xì)
550-100A	ULTRATEST UL1000 Fab, 230 V, EU plug
550-101A	ULTRATEST UL1000 Fab, 100/115 V, US plug

規(guī)格

類型		Dry Helium Leak Detetector UL1000 Fab
氦氣（真空模式）可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
氦氣（真空模式）可檢漏率	mbar?L/s	<5E-12
氦氣（吸槍模式）可檢漏率	mbar?L/s	8E-8
GROSS 模式進(jìn)氣口壓力	mbar	15
FINE 模式進(jìn)氣口壓力	mbar	2
ULTRA 模式進(jìn)氣口壓力	mbar	0.4
抽真空期間的抽氣能力	m3/h	25 at 50 Hz
GROSS 模式氦氣抽氣能力	L/s	max. 8
FINE 模式氦氣抽氣能力	L/s	7
ULTRA 模式氦氣抽氣能力	L/s	2.5
可檢測質(zhì)量數(shù)		2,3,4 amu
質(zhì)譜儀扇形場		180°
燈絲離子源銥/氧化釔涂層		2
內(nèi)置校準(zhǔn)漏孔	mbar?L/s	e-7
測試端口	DN 25 KF	1
可調(diào)觸發(fā)器		2
接口		RS 232
圖形記錄器輸出	V	2 x10
輸入/輸出		PLC compatible
允許的環(huán)境溫度（操作過程中）	°C	+10.....+40
保護(hù)類型		IP 20
重量	kglb.	110
尺寸（長x寬x高）	mmin.	1068x525x850
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
電源電壓	V (ac)	230 (+-10% )50Hz
功耗	VA	1100