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12吋全自動磨片清洗機(jī)

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱北京華林嘉業(yè)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地北京市
  • 廠商性質(zhì)
  • 更新時間2023/5/6 10:23:33
  • 訪問次數(shù)227
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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半導(dǎo)體 、平板顯示、太陽能光伏領(lǐng)域濕法制程設(shè)備
生產(chǎn)主線為:H2O超聲槽1、界面活化劑槽2、H2O超聲槽3、界面活化劑槽4、H2O超聲槽5、HCL槽6、H2O超聲槽7,共7個制程工位。本設(shè)備電器控制部分關(guān)鍵件均采用進(jìn)口優(yōu)質(zhì)件,性能可靠,使用壽命長;及背部設(shè)有吸風(fēng)口,為防止污染空氣,用戶需外接風(fēng)管抽風(fēng)。本機(jī)臺是一個人機(jī)界面(觸摸屏)加PLC控制的全自動控制系統(tǒng),操作者只須將清洗花籃放置于上料工位上,再由PLC控制機(jī)械手將花籃輸送到各個工位,按照事......
12吋全自動磨片清洗機(jī) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品詳情:

項目

說明

機(jī)臺數(shù)量

1臺(套);

機(jī)臺重量

XX;

清洗能力(采購方提供cassette樣品)

12inch ;  2 cassette / Batch  13 Pcs/cassette;

產(chǎn)能要求

/

設(shè)備形式(潔凈度:千級潔凈室)

室內(nèi)放置型;  

機(jī)臺封面、主要結(jié)構(gòu)材質(zhì)

聚丙烯PP ();

阻燃聚丙烯PP ();

白聚氯乙烯PVC (√);

SUS304單鏡面板材(); 

機(jī)臺視窗

材質(zhì)

透明、抗靜電之聚氯乙烯PVC (√);

模式

左右推拉式(√);

機(jī)臺主機(jī)強(qiáng)度結(jié)構(gòu)

整體碳鋼、不銹鋼結(jié)構(gòu)骨架(40*40    40*80);

防漏盤

材質(zhì)

聚丙烯PP板材;

模式

分體式  每側(cè)尺寸比設(shè)備本體長50mm;

漏液檢測裝置

材質(zhì)

防腐材質(zhì);

點(diǎn)式

單點(diǎn)式;

其它

水平調(diào)整

通過地腳調(diào)整設(shè)備水平;

設(shè)備移動

設(shè)備裝有樹脂腳輪以備設(shè)備移動之用;

臺面板

材質(zhì)

¢12mm左右洞洞結(jié)構(gòu)   白聚氯乙烯PVC  (√);

相鄰槽之間須有接水板,接水板須傾斜放置,用以盛接花籃經(jīng)過時漏液(√);

排風(fēng)系統(tǒng)

排風(fēng)口位置

設(shè)備后頂部(√);

排風(fēng)通道結(jié)構(gòu)

1) 排風(fēng)強(qiáng)勁合理設(shè)計,為了排風(fēng)效果達(dá)到,排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板;

2) 為了方便操作人員根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量,操作人員可小范圍調(diào)節(jié)機(jī)臺排風(fēng)背板上的可拆卸式(以便清除可能產(chǎn)生的結(jié)晶)排風(fēng)柵欄再配合機(jī)臺視窗上的可調(diào)進(jìn)氣模塊使用達(dá)到使用效果;

3) 設(shè)備排風(fēng)通道的底部帶排液管,冷凝回流的廢液通過管道排放至機(jī)臺U型濕區(qū)內(nèi)與QDR排出的廢水混合稀釋并排放至機(jī)臺后方廠務(wù)廢水專用管道內(nèi);

機(jī)臺的電控系統(tǒng)

安裝在機(jī)體的后部; 觸摸屏及電源控制開關(guān)、照明等安裝在設(shè)備正前方。

工藝記錄儲存類型

PLC+觸摸屏(簡易)

完成生產(chǎn)工藝中參數(shù)及工藝步驟等詳細(xì)記錄存儲,便于采購方對生產(chǎn)產(chǎn)品品質(zhì)管控; 程序運(yùn)行記錄可定時存儲,存儲數(shù)據(jù)類型參考如下:程序號、操作者、槽體溫度、設(shè)定時間、運(yùn)行時間、報警信息等(待定)。PLC或觸摸屏具有USB接口,可讀出程序運(yùn)行記錄;


規(guī)格特點(diǎn):
01)工藝說明: 自動傳動,自動方式實(shí)現(xiàn)槽體間傳送工件,手臂按照菜單選擇流程作業(yè),生產(chǎn)部人員選取菜單進(jìn)行作業(yè),這個過程全自動進(jìn)行;
02)全程自動化控制,工藝過程中沒有人工干預(yù),保證產(chǎn)品性能的一致性;
03)搬運(yùn)機(jī)械手的橫向移動和縱向提升均采用日本伺服馬達(dá),閉環(huán)控制,定位精度≤1mm,可靠性高;
04)搬運(yùn)機(jī)械手臂單獨(dú)急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機(jī)械手馬達(dá)電機(jī)自動過載保護(hù)等多重保護(hù),確保操作者的安全;
05)溢流工藝的應(yīng)用,保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度;
06)工藝柔性化設(shè)計,工藝更改方便迅速;多工藝數(shù)據(jù)庫,可供用戶使用和存儲;
07)整機(jī)在使用、運(yùn)行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等,需潤滑的零件必須密封處理;
08)整機(jī)采用PLC控制,觸摸屏顯示,清洗槽定溫控制,過溫保護(hù)及超(兆)聲低液位保護(hù);
09)整機(jī)采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運(yùn)行峰值噪音小且操作、維護(hù)和維修方便;
10)整機(jī)耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕,電器元件正常安全使用;
11)機(jī)臺設(shè)有緊急停止回路(EMO急停按鈕,設(shè)備兩端各一個),并按照標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置接地保護(hù)斷路器;
12)整機(jī)前后區(qū)隔離,底板傾斜設(shè)計,便于排液,處設(shè)有漏液報警,前后區(qū)域均設(shè)水槍,確保漏液及時沖洗;
13)清洗槽體及管路配有明顯標(biāo)識或防錯設(shè)計,防止溶劑混用;
14)設(shè)計合理化的排風(fēng)管路,使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化;
15)設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部;
16)工藝溢流槽體都需具有外槽獨(dú)立溢流方式,需采用四面溢流;如果無法實(shí)現(xiàn),至少需要三面溢流;
17)  設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護(hù)、維修的窗口;
18)  機(jī)臺上料下料區(qū)各配水***2把;
19)機(jī)臺排風(fēng)口處安裝排風(fēng)壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
20)機(jī)臺總進(jìn)口處(N2或CDA)安裝有壓力監(jiān)測裝置(帶信號報警裝置);
21)  工藝槽槽底傾斜式,便于排空;
22)機(jī)臺電器部分具備正壓N2保護(hù),防止腐蝕;


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