槽式全自動(dòng)清洗機(jī)

*視窗為雙層設(shè)計(jì)，操作安全                                   
*設(shè)備占地面積小
*噴淋裝置噴淋均勻                                      
*加熱材料高純無污染，in-line加熱
*有限控制金屬、材料及微粒子的交叉                           
*溫度自動(dòng)校準(zhǔn)
*軟硬件互鎖裝置保證操作人員人身安全                          
*支持SMIF自動(dòng)傳輸
*實(shí)時(shí)記錄生產(chǎn)數(shù)據(jù)，多種數(shù)據(jù)分析功能                          
*軟件支持GEM/SECS接口，提供PAP MES等功能
*工藝柔性化設(shè)計(jì)，工藝更改方便迅速                           
*優(yōu)化配管設(shè)置，節(jié)約DIW消耗量
*藥液濃度實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)                                        
*多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶適用和儲存
*槽體流場控制技術(shù)                                           
*高效藥液回收系統(tǒng)
*Maragoni Dryer 低破片率，高潔凈度                         
*較潔凈藥液回收利用，節(jié)約藥液使用
*易燃化學(xué)品安全穩(wěn)定加熱系統(tǒng)                                 
*易燃化學(xué)品搭載消防系統(tǒng)及切斷排風(fēng)系統(tǒng)，符合消防安全
*自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件系統(tǒng)                                      
*系統(tǒng)自動(dòng)排程，多工位并發(fā)處理，高效率運(yùn)行
*擁有多項(xiàng)軟件著作權(quán)                                         
*工藝預(yù)置，過程數(shù)據(jù)記錄和生產(chǎn)管理
*PC上位機(jī)和PLC觸摸屏的控制和人機(jī)交互界面