薄膜沉積系統(tǒng)核心組件
微型有機物蒸發(fā)器（DE系列）
微型有機物升華器專為實驗室研究或微小規(guī)模的制備而設計，可以裝配高真空或超高真空系統(tǒng)，主要用于通過熱升華和沉積的方式制備有機分子（化合物）。升華器具有各種不同的體積，特殊的設計結構可以允許快速更換坩堝，各種材質的升華容器可選。
從規(guī)模上講，CreaPhys微型有機物蒸發(fā)器可用于實驗室研究、小批量生產(chǎn)，從操作真空上講，可在高真空（HV）或超高真空（UHV）狀態(tài)下工作。所有的蒸發(fā)器都具有較大范圍的沉積速度和穩(wěn)定的工作溫度。CreaPhys提供不同體積的蒸發(fā)器體積和不同尺寸的承載架，同時提供各種形狀的坩堝，集成安裝的遮光板組件以及輔助的水冷系統(tǒng)。所有產(chǎn)品都可根據(jù)用戶的特殊要求定制。
技術參數(shù)： l 沉積速度：投擲距離150mm條件下，10-2… 50 A/Sec（與物質密切相關） l 溫度： 50°C -800°C l 溫度穩(wěn)定性：< 0.1K l 溫度傳感器類型：K型 l 可提供體積：100 ccm | 選項： l 不同的承載架，如CF, ISO-KF, ISO-K等，以及不同大小的法蘭連接 l 坩堝：氧化鋁材質，圓錐形結構（標準），其它形狀定制 l 不同型號的PID溫度控制器 l 集成安裝的遮光器組件（手動、氣動、電動等） l 水冷系統(tǒng) |
單個蒸發(fā)器組件 DE-X
容積* | 蒸發(fā)器尺寸（mm） | 【大小】 | 訂貨編號 | ||
A** | B | C | |||
0.5 ccm | 100 | 15.5 | 46 | -0.5 | DE-0.5 |
2 ccm | 100 | 35 | 42.7 | -2 | DE-2 |
4 ccm | 110 | 35 | 53.7 | -4 | DE-4 |
8 ccm | 125 | 35 | 68.7 | -8 | DE-8 |
20 ccm | 145 | 35 | 90 | -20 | DE-20 |
50 ccm* | 190 | 57 | 135 | -50 | DE-50 |
*對于圓錐形蒸發(fā)器，體積可達100ccm
**指最小的位于真空系統(tǒng)中的長度，可按照用戶的要求延長
法蘭選項
法蘭 | 【法蘭】 | 訂貨編號 |
不配備法蘭 | 基本配置 | DE-【大小】-BASE |
DN40CF* | CF40* | DE-【大小】-CF40 |
DN40KF* | KF40 | DE-【大小】-KF40 |
*更大的法蘭需要定制。DN16CF或DN16KF對DE-0.5蒸發(fā)器許可。ISO-K法蘭需要定制。
遮光板選項
遮光板 | 【遮光板】 | 訂貨編號 |
不配備遮光板 | NOS | DE-【大小】-【法蘭】-NOS |
集成式遮光板，手動 | SHM | DE-【大小】-【法蘭】-SHM |
集成式遮光板，氣動* | SHP | DE-【大小】-【法蘭】-SHP |
集成式遮光板，電動* | SHE | DE-【大小】-【法蘭】-SHE |
*有些遮光板不可配備到小型法蘭上，如有必要，請咨詢詳細信息。
多組微型有機物蒸發(fā)器（DE系列）
CreaPhys多組微型有機物蒸發(fā)器將通過熱蒸發(fā)原理進行真空沉積，在配備一個標準法蘭、一個基本底座的情況下，可同時進行最多三個不同物料的真空沉積。各種熱防護和水冷系統(tǒng)可確保溫度的準確性和高效的熱分離，因此，相鄰的蒸發(fā)器之間并無干擾，各自的沉積速度在全溫度范圍內(nèi)獨立可控。
技術參數(shù)： l 沉積速度：投擲距離150mm條件下，10-2… 50 A/Sec（與物質密切相關） l 溫度： 50°C -800°C l 溫度穩(wěn)定性：< 0.1K l 溫度傳感器類型：K型 l 可提供體積：50 ccm l 集成的水冷系統(tǒng) | 選項： l 不同的承載架，如CF,ISO-KF, ISO-K等，以及不同大小的法蘭連接 l 集成安裝的遮光器組件（手動、氣動、電動等） l 坩堝：氧化鋁材質，圓錐形結構（標準），其它形狀定制 l 不同型號的PID溫度控制器 l 在一個CF-40法蘭上，最多可容納3個蒸發(fā)器 l 僅僅對DE-DUAL-0.5，可設計水平和垂直兩種狀態(tài) |
多組蒸發(fā)器組件 DE-Multi-X
蒸發(fā)器個數(shù) | 【多組】 | 訂貨編號 |
2 | DUAL | DE-【DUAL】 |
3 | TRIPLE | DE-【TRIPLE】 |
容積 | 蒸發(fā)器尺寸（mm） | 【大小】 | 訂貨編號 | |
每一個蒸發(fā)器的容積* | A | B | ||
2 ccm | 35 | 70 | -2 | DE-【Multi】-2 |
4 ccm | 35 | 80 | -4 | DE-【Multi】-4 |
8 ccm | 35 | 95 | -8 | DE-【Multi】-8 |
*對于圓錐形蒸發(fā)器
其它選項：
以水冷底板為基礎的多組微型有機物蒸發(fā)器，可以安裝于一個法蘭盤上，或者組合在不同的遮光板上。沒有遮光板時，一套由3個蒸發(fā)器組成的多組蒸發(fā)器組件可以安裝在DN100法蘭盤上。如果需要遮光板，則需要加大法蘭盤至DN200。具體信息請聯(lián)系咨詢。
最小型多組蒸發(fā)器組件 DE-【Multi】-0.5
最小型多組蒸發(fā)器設計安裝于非常有限的空間內(nèi)，使用DN40法蘭安裝。
蒸發(fā)器個數(shù) | 每個蒸發(fā)器的體積 | 【多組】 | 訂貨編號 |
2 | 0.5 ccm | DUAL | DE-DUAL-0.5 |
3 | 0.5 ccm |
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