薄膜沉積系統(tǒng)核心組件
可伸縮型蒸發(fā)器(RET系列)
可伸縮型蒸發(fā)器主要用于那些敏感性蒸發(fā)材料,允許它們被放置于常壓惰性氣體保護的環(huán)境中,或置于手套箱中??s進蒸發(fā)器并關(guān)閉閥門后,蒸發(fā)器所在的腔體可以被抽成真空。閥的作用就是維持腔體的真空進而保護敏感材料。
伸縮長度(沖程長度)選項
伸縮長度 (mm) | 總高度 (mm) | 法蘭-法蘭的距離 (mm) | 【伸縮長度】 | 訂貨編號 |
50 | 212.5 | 75-125 | -50 | RET-50 |
100 | 270.5 | 83-183 | -100 | RET-100 |
150 | 328.5 | 91-241 | -150 | RET-150 |
200 | 386.5 | 99-299 | -200 | RET-200 |
250 | 444.5 | 107-357 | -250 | RET-250 |
法蘭選項
法蘭 | 【法蘭】 | 訂貨編號 |
DN40CF* | -CF40 | RET-【伸縮長度】-CF40 |
DN40KF* | -KF40 | RET-【伸縮長度】-KF40 |
*更大的法蘭需要定制。
閥門選項
閥門 | 【閥門】 | 訂貨編號 |
是 | -V | RET-【伸縮長度】-【法蘭】-V |
否 | -NO | RET-【伸縮長度】-【法蘭】-NO |
*更大的閥門需要定制。
船型與坩堝型金屬蒸發(fā)器配件