CD681 Nanofics低壓等離子表面處理設(shè)備 技術(shù)參數(shù):
反應(yīng)艙 | 材料: 鋁 |
真空度測量 | Baratron真空計 |
真空泵 | 干式真空泵泵組 |
頻射發(fā)生器 | 根據(jù)客戶應(yīng)用需求定制 |
控制系統(tǒng) | PLC可實現(xiàn)下列功能:
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電源 | 380V AC, 三相, 50Hz, 40A |
反應(yīng)氣體 | 一個氣體輸入端口, 含氣體流量控制器(MFC) |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸(6.45mm) 管道; 輸入壓力:1Bar |
尾氣排放 | 直徑28mm 輸出端口 |
性能 | 急停開關(guān); 真空泵保護(hù)鎖; 高溫保護(hù)鎖; CE認(rèn)證. |