CD875 Nanofics 低壓等離子表面處理設備 技術參數:
反應艙 | 材料: 鋁 |
真空度測量 | Baratron真空計 |
真空泵 | 干式真空泵泵組 |
頻射發(fā)生器 | 根據客戶應用需求定制 |
控制系統(tǒng) | PLC可實現下列功能:
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電源 | 380V AC, 三相, 50Hz, 40A |
反應氣體 | 一個氣體輸入端口, 含氣體流量控制器(MFC) |
氣體輸入 | 直徑1/4英寸(6.45mm) 管道; 輸入壓力: 1Bar |
尾氣排放 | 直徑28mm 輸出端口 |
性能 | 急停開關; 真空泵保護鎖; 高溫保護鎖; CE認證。 |