與TC-12、TC-6、 TC-4型加熱卡盤區(qū)別在卡盤尺寸上,同樣使用熱電(致冷)晶片,可搭水冷機(jī)或冰水機(jī)冷卻系統(tǒng)。
參數(shù)信息:
圓形,尺寸:8寸
溫度范圍:室溫至200℃或選擇300℃
熱傳感器控制
獨(dú)立的真空通道可放置不同尺寸晶圓樣品
面板式控制系統(tǒng)
搭配循環(huán)式冷卻系統(tǒng),可與本公司設(shè)計(jì)的電磁閥開關(guān)搭配,可受溫控裝置控制,操作方便,一體化設(shè)計(jì)
選型說明:
真空吸附加熱、低溫卡盤chcuk根據(jù)用戶高溫或低溫環(huán)境要求提供配置,高溫范圍可達(dá)500℃,選型根據(jù)卡盤尺寸,形狀,溫度范圍,冷卻裝置等選配。