2寸方形加熱/低溫卡盤 TE-50型
使用熱電(致冷)晶片,可搭水冷機或冰水機冷卻系統(tǒng)。
其它型號參考:TE-150型6寸方形卡盤
參數(shù)信息:
方形,尺寸:50x50mm
溫度范圍-10℃至120℃
熱傳感器控制
獨立的真空通道可放置不同尺寸晶圓樣品
面板式控制系統(tǒng)
搭配循環(huán)式冷卻系統(tǒng),可與本公司設計的電磁閥開關搭配,可受溫控裝置控制,操作方便,一體化設計
選型說明:
真空吸附加熱、低溫卡盤chcuk根據(jù)用戶高溫或低溫環(huán)境要求提供配置,高溫范圍可達500℃,選型根據(jù)卡盤尺寸,形狀,溫度范圍,冷卻裝置等選配。