電子束蒸發(fā)鍍膜儀設備用途:
用于制備導電薄膜、半導體薄膜、鐵電薄膜、光學薄膜等,廣泛應用于大專院校、科研機構的科研及小批量生產(chǎn)。
電子束蒸發(fā)鍍膜儀技術參數(shù):
結構形式 | 真空室采用U型箱體前開門,后置抽氣系統(tǒng) | |
真空室 | 500×500×600mm2 | |
真空系統(tǒng)配置 | 復合分子泵、機械泵、閘板閥 | |
極限壓力 | ≤6. 67×10-5Pa (經(jīng)烘烤除氣后); | |
恢復真空時間 | 45分鐘可達到6. 67×10-4Pa (系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥 氮氣后) | |
電子束 蒸發(fā)源 | e型電子槍 | 陽極電壓:6kv、8kv; |
數(shù)量(套) | 1 | |
坩堝 | 水冷式坩堝,四穴設計,每個容量11ml | |
功率 | 0一6 KW可調(diào) | |
電阻蒸發(fā)源 (可選) | 電壓 | 5、10V |
功率 | 電流300A,*大輸出功率3KW | |
數(shù)量 | 1套,可切換 | |
水冷電極 | 3根,組成2個蒸發(fā)舟 | |
工件架類型及尺寸 | 基片尺寸:可放置4”基片,加熱高溫度800℃±1℃ ,基片可連續(xù)回轉,轉速5~60轉/分 基片與蒸發(fā)源之間距離300~350mm可調(diào),手動控制樣品擋板組件1套 | |
氣路系統(tǒng) | 200SCCM質量流量控制器1路 | |
石英晶振膜厚控制儀 | 監(jiān)測膜厚顯示范圍:0~99 u 9999A; | |
設備占地面積 | 主機 | 900×800mm2 |
電控柜 | 800×800mm2 (兩個) |