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可程控磁控濺射鍍膜儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱鄭州成越科學儀器有限公司
  • 品       牌
  • 型       號CY-PLC
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2020/12/31 14:14:59
  • 訪問次數(shù)200
產(chǎn)品標簽:

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鄭州成越科學儀器有限公司位于鄭州*開發(fā)區(qū)863軟件園內(nèi),是一家專業(yè)從事材料制備設備和材料制備原料代理的高科技公司。重點專注于CVD石墨烯制備設備、熒光粉燒結(jié)設備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向,立志做材料制備技術(shù)及設備和原料的提供商。 鄭州成越科學儀器有限公司的“研發(fā)團隊”憑借自身在熱處理技術(shù)方面的專業(yè)知識和豐富的實踐經(jīng)驗,先后研發(fā)出了多款材料制備設備。主要產(chǎn)品有:微波燒結(jié)爐、真空管式爐、箱式電阻爐、高頻感應爐、氧化鋯燒結(jié)爐、熒光粉燒結(jié)爐、晶體退火爐、電池材料燒結(jié)爐、旋轉(zhuǎn)管式爐、立式管式爐、CVD管式爐等;其他的產(chǎn)品還有:等離子清洗機、真空手套箱、真空干燥箱、環(huán)境模擬測試柜、行星球磨機、高純石英管、99剛玉管、真空法蘭等。 鄭州成越科學儀器有限公司 近年來,在社會各界的關(guān)心支持下,公司不斷發(fā)展壯大,與國內(nèi)外多所高校和科研單位建立起了合作關(guān)系;公司還聘請了多位國內(nèi)外重點高校的教授,博導為公司常年的技術(shù)顧問,他們時刻與國內(nèi)外學術(shù)界保持交流,出國訪問,并親臨一線指導產(chǎn)品的生產(chǎn)和研發(fā),使我公司的產(chǎn)品不斷完善,并緊跟世界研究熱點,推出相關(guān)的新產(chǎn)品。產(chǎn)品遠銷歐美、日韓等國家,并在國內(nèi)外市場獲得業(yè)界*。 如果您正在被國貨的產(chǎn)品質(zhì)量所困擾,選擇我們將改變您對國貨的某些觀念;如果您正在為自己的實驗方案的實施而茫然,選擇我們將有專業(yè)的技術(shù)團隊為您量身定做!如果您正在為故障設備的售后無人理會而發(fā)愁,選擇我們一切的問題將由我們負責到底。
壓片機
簡單介紹: 可程控磁控濺射鍍膜儀為單腔室結(jié)構(gòu),主要由濺射真空室、磁控濺射靶、離子轟擊、公轉(zhuǎn)基片臺、光加熱系統(tǒng)、濺射電源、工作氣路、真空獲得系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量、水冷卻及報警系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成??沙炭卮趴貫R射鍍膜儀
可程控磁控濺射鍍膜儀 產(chǎn)品信息
詳情介紹:

可程控磁控濺射鍍膜儀由工控機和PLC實現(xiàn)控制,有自動和手動控制兩種模式。除取放樣品外,其它操作過程全部在觸摸屏上實現(xiàn);提供真空系統(tǒng)、濺射工藝設置、充放氣系統(tǒng)等人機操作界面;在工控機上可通過配方設置參數(shù),實現(xiàn)對程序工藝過程和設備參數(shù)的設置。

可程控磁控濺射鍍膜儀設備用途:

該產(chǎn)品可廣泛應用于半導體、LED和光伏等行業(yè),主要用于各種金屬、半導體及介質(zhì)材料的薄膜制備,可滿足科研兼小批量生產(chǎn)需要。

可程控磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):


濺射室極限真空

8.0×10-6Pa

恢復真空時間

系統(tǒng)從大氣抽至1.0×10-3 Pa15min

均勻性

膜厚不均勻性≤±5%;片間不均勻性≤±5%;批次間不均勻性≤±5%

濺射真空室

圓筒形結(jié)構(gòu),尺寸Ф800mm×250mm

磁控濺射系統(tǒng)

永磁靶4支,靶材尺寸6英寸;

1臺進口電源(射頻或直流脈沖可選);

濺射速率:0.55/秒(靶材Al

公轉(zhuǎn)基片臺

6英寸6片,(4英寸12片或3英寸16片);

基片公轉(zhuǎn)315轉(zhuǎn)/分,連續(xù)可調(diào),可選配公自轉(zhuǎn)復合工件臺

光加熱系統(tǒng)

樣品加熱溫度:室溫~250℃,連續(xù)可調(diào);

基片溫度不均勻性:≤±10℃;

控溫方式為PID自動控溫及數(shù)字顯示,配備進口控溫表

工作氣路

2路質(zhì)量流量控制器氣路

抽氣機組成

低溫泵(進口)、羅茨干泵機組、氣動閘板閥(進口)、管路等

真空測量

2個真空計(進口)對系統(tǒng)真空、工作真空及前級真空進行**檢測;真空度在工控機觸膜屏上可直觀顯示;可準確監(jiān)控濺射鍍膜工藝過程的真空度

控制系統(tǒng)

系統(tǒng)由工控機(觸摸屏)和進口PLC實現(xiàn)對整個系統(tǒng)的控制

占地面積

主機

1500×1000mm2

電控柜

700×700mm2(一個)

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關(guān)鍵詞:控制器
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