緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀應(yīng)用領(lǐng)域:
緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀設(shè)計主要是制作一些金屬薄膜,制膜面積可達到4英寸。設(shè)備外形小巧,性價比高,是制作各種金屬薄膜理想的鍍膜設(shè)備,可選配各種金屬靶材和真空泵搭配設(shè)備使用。
緊湊型直流磁控濺射鍍膜儀技術(shù)規(guī)格:
特點 | 1.專為SEM樣品涂覆導(dǎo)電金膜而設(shè)計。 2.緊湊型等離子濺射鍍膜機專為金屬涂層而設(shè)計,如金,鉑和銀。 3.包括一個2“金(4N)目標。 |
輸入電壓 |
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輸出電壓 | 500 VDC |
濺射電流 |
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濺射時間 | 1 -120秒可調(diào) |
樣本室 | 石英玻璃管, 165 mm外徑×150 mm內(nèi)徑×150 mm高 |
樣品臺 | 2"直徑,高度可調(diào), 從樣品到靶30 - 80 mm |
濺射頭 | 2"磁控濺射頭。一個手動操作的遮板用于保護靶 |
真空壓力 |
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輸入氣體 |
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靶材 |
金靶 (50 mm 直徑×0.12 mm, 4N 純度) 鉑金靶(50 mm直徑×0.12 mm, 4N純度) 銀靶(50 mm 直徑×0.5 mm, 4N 純度) 該型號適用于涂覆金,銀,鉑。并且由于能量低,不適合涂覆輕金屬材料,如Al、Mg、Zn或碳靶。請考慮我們的高功率直流/射頻磁控濺射涂布機或熱蒸發(fā)涂布機。 |
產(chǎn)品尺寸和重量 | L 460 mm×W 330 mm×H 520 mm 20kg |
售后服務(wù) | 貨物發(fā)出后,CYKY提供一年免費售后服務(wù),服務(wù)方式限于電話指導(dǎo)、視頻指導(dǎo)、郵件指導(dǎo)、配件郵寄等遠程。如需要派人現(xiàn)場服務(wù),客戶需要支付服務(wù)人員差旅費和出差期間的工資 |