一體式CVD系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊,使用方便。特別是豐富的圖文界面,即使您是**操作,該系統(tǒng)也能順利引導(dǎo)您很快掌握該CVD系統(tǒng)的使用和操作,您根本無(wú)需專(zhuān)業(yè)學(xué)習(xí),為您節(jié)省大量的科研時(shí)間,真正做到事倍功半!
產(chǎn)品特點(diǎn):
1、豐富的圖文信息:全尺寸液晶圖文界面
2、系統(tǒng)高度集成:各個(gè)部分均由軟件協(xié)同進(jìn)行數(shù)據(jù)采集、交換、處理、輸出
3、可使實(shí)驗(yàn)步驟程序化、自動(dòng)化
主要技術(shù)參數(shù):
工作電壓:AC220/AC110V
工作頻率:50Hz/60hz
工作溫度:25℃~1100℃
測(cè)量精度:0.1℃
控溫精度:±1℃
加熱區(qū)長(zhǎng):400mm
恒溫區(qū)長(zhǎng):200mm
射頻頻率:13.56MHz
射頻功率:0~500W(可調(diào)節(jié))
匹配模式:自動(dòng)匹配
氣體通道:3通道
氣體測(cè)量:質(zhì)量流量計(jì)
量程范圍:0~500SCCM
真空設(shè)備:分子泵組
真空測(cè)量:復(fù)合真空計(jì)