詳細(xì)摘要： 通過選配外部附件如：EM-KLEEN遠(yuǎn)程控制等離子源和/或TEM樣品桿適配器，多用途腔室可配置成不同的應(yīng)用。EM-KLEEN遠(yuǎn)程等離子體源可以采用空氣、氧氣或氫...

詳細(xì)摘要： Tergeo系列臺式全自動等離子清潔儀具有清潔、灰化、刻蝕等功能，可用來清潔納米級樣品，去除光刻膠，清潔晶圓和集成電路鍵合焊盤，進(jìn)行煤和有機(jī)物的灰化，激活聚合物...

詳細(xì)摘要： 用于SEM,FIB,TEM,XPS,ALD,CD-SEM,EBR,EBI,EUVL和其它高真空系統(tǒng)的遠(yuǎn)程等離子清潔儀。遠(yuǎn)程等離子源需安裝在要被清潔的真空腔室上，...