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桌面型雙源蒸發(fā)鍍膜儀
本小型蒸發(fā)鍍膜儀可進行真空蒸鍍，在對樣品進行蒸發(fā)鍍膜的過程中，樣品臺可進行旋轉，以獲得更均勻的薄膜。鍍膜電流*大可達60A，本型號的小型蒸發(fā)鍍膜儀應用范圍廣，可制備各種金屬薄膜和部分非金屬薄膜，因此被廣泛用于電極的制備和有機物發(fā)光LED的制備。設備配有兩套蒸發(fā)源，可以通過擋板切換，實現(xiàn)對樣品的多層鍍膜。儀器體積小巧，可有效節(jié)約實驗室空間；操作簡單，對不同材料的適應性強，十分適合實驗室選購。
產(chǎn)品特點
1. 樣品臺可以旋轉，鍍膜效果能夠更加均勻；
2. 采用鎢絲籃為發(fā)熱源，*高溫度可達到1700℃；
3. 可向真空腔體中通入惰性氣體，對腔體進行清洗，也可通入反應氣體，進行反應蒸發(fā)鍍膜。
4. 進氣口配有針閥，用于調(diào)節(jié)進氣流量。
5. 雙蒸法源，可以實現(xiàn)多層鍍膜。
技術參數(shù)
| 項目 | 明細 |
| 產(chǎn)品型號 | CY-EVP180G-2S-LV (2 Source) |
| 供電電壓 | AC220V，60Hz |
| *大功率 | 1200W |
| 蒸發(fā)源數(shù)量 | 2x鎢絲籃 |
| 樣品臺 | 直徑φ65mm； 可旋轉，轉速0-20rpm； 與蒸發(fā)源間距可調(diào)，調(diào)節(jié)范圍60mm-100mm |
| 真空腔體 | 材質(zhì)：高純石英 φ180mm x 210mm |
| *高溫度 | 1700℃ |
| 熱電偶 | B型熱電偶 |
| 真空計 | 電阻式真空計 |
| 真空接口 | KF16 |
| 進氣接口 | 1/4NPS |
| 整機尺寸 | 500x350x400mm |
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