上海維逸機(jī)電設(shè)備有限公司
主營(yíng)產(chǎn)品: 傾角傳感器、加速度傳感器、壓力傳感器、氣體傳感器、溫度傳感器、位置傳感器、力傳感器、磁阻傳感器等及相關(guān)技術(shù)服務(wù)。 |
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更新時(shí)間:2020-12-15 11:24:08瀏覽次數(shù):2941
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| zui小 | 典型 | zui大 | 單位 |
熱功率P(Rm1+Rm2): | — | — | 30 | mW |
測(cè)量溫度Tm | — | — | 180 | °C |
環(huán)境溫度 | -20 | — | +85 | °C |
氣體壓力(1) | — | — | 200 | bar |
| zui小 | 典型 | zui大 | 單位 |
電阻,Rm1,Rm2(Tm=25°C) | 92 | 100 | 115 | ? |
電阻,Rt1,Rt2 | 220 | 240 | 275 | ? |
商,Rtx / ( Rm1+Rm2 ),x∈{1,2} | 1.13 | 1.2 | 1.27 | 1 |
阻抗差,Rm1 - Rm2 | -2.0 | — | +2.0 | ? |
α=溫度系數(shù),( Rm, Rt ) | 20 - 100°C | 4.8(2) | 5.5 | 5.9 | 10-3·K-1 |
G =幾何系數(shù)(3) | — | 3.6 | — | mm |
τm =膜的熱時(shí)間常數(shù) | — | <5 | — | ms |
τdiffusion =氣體交換的時(shí)間常數(shù) | — | <100 | — | ms |
漂移( Rxy ) | x∈{m,t} ; y∈{1,2} | — | 0.001 | 0.01 | %/week |
散射結(jié)構(gòu)的體積 | — | 0.2 | — | mm3 |
保持干凈的周?chē)h(huán)境空間大小 | — | 100 | — | mm3 |
基礎(chǔ)材料 | 硅,采用蝕刻技術(shù)獲得微觀(guān)結(jié)構(gòu) | |||
尺寸結(jié)構(gòu): 包括底座 不包括底座 | 3mm × 3mm × 1mm | |||
13mm Ø × 15.4mm | ||||
暴露在空氣中的材料 | Si, SiOxNy, 金, 環(huán)氧材料 |