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iPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列

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更新時間：2024-05-10 09:42:04瀏覽次數(shù)：210

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產(chǎn)品簡介

iPH半導(dǎo)體嚴(yán)苛系列

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號及名稱
真空泵Vacuum pump
用途
 
Etch/Implant/HDP-CVD/SACVD/MOCVD/PECVD/LPCVD/ALD
 
特點(diǎn)
iPH系列螺桿真空泵能夠在廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域提供優(yōu)良的性能，適用于嚴(yán)苛制程。
它優(yōu)良的性能源自于最短的轉(zhuǎn)子排氣路勁和*的轉(zhuǎn)子型線設(shè)計。
漢鐘型線設(shè)計，上海、中國臺灣制造；
較之前的版本節(jié)能25%，配置有省電模式；
帶有加熱系統(tǒng)避免制程物沉積；
優(yōu)化的尺寸，即插即用。
 
技術(shù)指標(biāo)

Product
Unit
iPH100
iPH200
iPH610
iPH1210
iPH1210H
iPH1220
iPH1820
Dry Pump
m3/h
120
200
120
120
120
200
200
Booster
m3/h
/
/
600
1200
1200
1200
1800
Max.Pumping Speed
m3/h
120
200
700
1100
1100
1250
1850
Ultimate Pressure
Torr
7.5×10-3
7.5×10-3
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
7.5×10-4
System Power at Ult.
kW
2.1
3.5
2.6
3.0
3.2
4.5
4.7
Inlet
ISO
63
63
100
100
100
100
160
Outlet
NW
40
40
40
40
40
40
40
Dimension(mm)
 L
830
830
830
830
830
830
830
W
400
400
400
400
400
400
400
H
526
526
780
780
780
780
830
Weight
Kg
280
300
450
455
460
470
530

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