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關鍵詞：測厚儀 非接觸式測厚儀 玻璃測厚 薄膜測厚 膜層測厚 鏡片測厚
Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測量系統(tǒng)采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測量原理：低相干邁克爾遜干涉儀
如圖所示：
Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束，經Beamsplitter分束成兩束光，這兩束光通過準直儀聚焦到Measurement arm(測量臂)和Reference arm(參考臂)上；
在測量臂段，光束經待測物前后兩表面反射產生兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經光纖返回到Beamsplitter 中，此時掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產生兩干涉信號經探測器(光電二級管)轉換為電信號再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以精確移動，當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動，就可以 測量被測鏡的位置。
OptiGauge測厚儀特點
1. 非接觸式、非破壞性；
2. 實時在線測量或離線測量；
3. 可單次測量多層膜，可測 20 層；
4. 探針靈活配置，實現多個不同目標測量 （最多可配8個探頭）；
5. 測試速度快（1s）
6. 適用范圍廣
測厚儀性能參數：
| 型號 | OptiGauge® LT | OptiGauge II | OptiGauge EMS |
| 測量范圍（n=1.5） | 12μm to 3.3 mm | 12µm to 12 mm | 12µm to 35 mm |
| 測量層數 | 1 | 20 | 20 |
| 精度 | ±1μm | ±0.1µm | ±0.1µm |
| 重復精度 | 1μm 1σ | 0.1µm 1σ | 0.1µm 1σ |
| 掃描速率 | 50Hz | 50Hz,100Hz 和200Hz可選 | 20Hz |
| 光源 | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide |
| 測量頭工作距離 | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm |
| 光纖長度 | 3m，max 1000m | 3m，max 1000m | 3m，max 1000m |
測厚儀應用領域：
Lumetrics 產品既可以提供獨立的測量頭，也可以集成在各種設備中，廣泛應用在以下領域，
1、光電子行業(yè)：
2 、薄膜行業(yè)：測量塑料薄膜的厚度
3 、醫(yī)療行業(yè)：測量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙、等
4、單件元件厚度控制（特別適用于紅外材料，測量厚度控制平行度）
5 、平板玻璃厚度測試：浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測量
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