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劃片機(jī)

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更新時(shí)間：2021-07-23 16:24:19瀏覽次數(shù)：477

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R軸 

電機(jī)類型

直線電機(jī)

直線電機(jī)

伺服電機(jī)

DD馬達(dá)

有效行程

350mm

320mm

40mm

380deg

適用晶圓尺寸

Θ4-12in

 

 

 

光柵分辨率

0.1um

0.1um

0.1um

0.3sec

重復(fù)定位精度

≤±150nm

≤±150nm

≤±500nm

±1sec

速度

1000mm/s

1000mm/s

300mm/s

4rps

加速度

3G

2G

-

-

負(fù)載

25kg

-

-

30kg


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