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英國OxfordVacuum電子束蒸發(fā)鍍膜機VapourStation4微納器件樣品制備系統(tǒng),該電子束蒸發(fā)鍍膜儀是一款微納器件樣品制備系統(tǒng),為有機無機多源有氣相分子沉積系統(tǒng),高真空條件下,通過加熱材料的方法,在襯底上沉積各種化合物、混合物單層或多層膜,具有高真空多源有機、金屬電阻蒸發(fā)及手套箱保護條件下器件后期制作,主要用于有機半導(dǎo)體材料的物理化學(xué)性能,研究實驗、有機半導(dǎo)體器件的原......
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