2021-07-20 20:13:56330
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在線詢價圖片描述：
Sentech集成等離子刻蝕和沉積的多腔系統(tǒng)，SENTECH多腔系統(tǒng)包括等離子刻蝕和/或沉積腔體、傳送腔室、預真空室或片盒站。傳送腔室包括傳送機械手臂，可適用于三至六個端口。可以使用多達兩個片盒站來增加產量。傳送腔室可以配備多種選擇。
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