深圳市藍星宇電子科技有限公司

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2021-07-16 20:58:08205
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  • 廠商性質:其他
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日本JEOLJBX-3200MV電子束光刻系統(tǒng),是用于制作28nm~22/20nm節(jié)點的掩模版/中間掩模版(mask/reticle)的可變矩形電子束光刻系統(tǒng)。的技術實現(xiàn)了高速、高精度和高可靠性。是基于加速電壓50kV的可變矩形電子束和步進重復式的光刻系統(tǒng)?

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