德國Sentech PE-ALD 等離子體增強(qiáng)--原子層沉積圖片

德國SentechPE-ALD等離子體增強(qiáng)--原子層沉積，SENTECH基于多年研發(fā)制造PECVD和ICPECVD的經(jīng)驗(yàn)，包括專有的PTSA技術(shù)，推出臺(tái)PEALD設(shè)備。新的ALD設(shè)備應(yīng)用SENTECH橢偏儀，使熱輔助和等離子輔助的操作和沉積過程都能得到監(jiān)控。