2021-07-13 20:26:08471
| 參考價: | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
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在線詢價圖片描述：
PE-ALD德國Sentech等離子體增強原子層沉積機，是在3D結(jié)構(gòu)上逐層沉積超薄薄膜的工藝方法。薄膜厚度和特性的精確控制通過在工藝循環(huán)過程中在真空腔室分步加入前置物實現(xiàn)。等離子增強原子層沉積（PEALD）是用等離子化的氣態(tài)原子替代水作為氧化物來增強ALD性能的*方法。
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