圖片描述:
針對具備高度結(jié)構(gòu)化晶圓形貌、深度MEMS結(jié)構(gòu)或不平整表面特征的基板,SAWATEC公司的iSPRAY能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密的噴膠機,適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝,主要被應(yīng)用于研究與開發(fā)實驗室,尤其是MEMS加工的試產(chǎn)和小量產(chǎn)場合。經(jīng)過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結(jié)合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠(例如Shipley1813、AZ4999、AZ9260......
圖片來源: