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簡單介紹:雙溫區(qū)管式爐設(shè)備由雙溫區(qū)管式爐、溫控蒸發(fā)器、濕度監(jiān)測器三部分組成。溫控蒸發(fā)器和濕度監(jiān)測器的組合可以持續(xù)產(chǎn)生符合試驗配比要求的水蒸氣,即通過觀察濕度監(jiān)測器的示數(shù),相應(yīng)的調(diào)節(jié)溫控蒸發(fā)器的加熱速率即可調(diào)節(jié)水蒸氣產(chǎn)生速率。雙溫區(qū)管式爐若再配合三路浮子流量計即可實現(xiàn)對通入氣體成份和濕度的準(zhǔn)確控制,適用于CVD工藝中的液體源和化學(xué)前......
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