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簡(jiǎn)單介紹:8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是一種等離子體清洗劑或蝕刻裝置,直徑8.5英寸x14英寸長(zhǎng)石英腔和0-80W可變射頻功率。8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)采用空氣、氧氣或氬氣等離子體對(duì)基體或晶圓片表面的納米級(jí)有機(jī)污染物進(jìn)行清洗和去除。在高射頻功率下,有機(jī)去除率高可達(dá)20nm/min左右。8.5"實(shí)驗(yàn)室等離子清洗機(jī)是在外......
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