實(shí)時(shí)膜厚檢測(cè)儀圖片

實(shí)時(shí)的干涉測(cè)量設(shè)備，提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測(cè)。單色光打在樣品表面，由于膜厚和高度變化導(dǎo)致不同的光路長(zhǎng)度時(shí)，使用干涉測(cè)量法。通過循環(huán)，系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)的方法計(jì)算蝕刻和鍍膜的速度，在規(guī)定的膜厚和槽深來進(jìn)行終點(diǎn)檢測(cè)?；谶@個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的理論，系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定，并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。