微量氣體分析儀圖片

微量氣體分析儀它是可以對用于半導(dǎo)體工藝的混合氣體（N2、O2、He、Ar、H2、Air）中的微量不純物進(jìn)行超高靈敏度、高精度（檢測感度可至10ppb）連續(xù)檢測的裝置。由于采用了交替流動調(diào)制方式，可以和零氣體不斷比較的同時進(jìn)行檢測，所以沒有零點漂移，能夠獲得*穩(wěn)定的檢測值。由于它通過19英寸RACK方式進(jìn)行了集中，所以系統(tǒng)升級也很容易。適于半導(dǎo)體氣體制造設(shè)備的質(zhì)量管理。