伯東企業(yè)(上海)有限公司

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2021-10-06 20:26:08389
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上海伯東代理美國考夫曼博士設(shè)立的考夫曼公司KRI霍爾離子源eH1000高效氣體利用,低成本設(shè)計(jì)提供高離子電流,特別適合中型真空系統(tǒng).屬于無柵網(wǎng)離子源.通常應(yīng)用于離子輔助鍍膜,預(yù)清洗和低能量離子蝕刻.尺寸:直徑=5.7高=5.5放電電壓/電流:50-300V/10A操作氣體:Ar,Xe,Kr,O2,N2,有機(jī)前體

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