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美國ALICAT21系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器,采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù),使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動。內(nèi)置的絕壓和溫度傳感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異,并對用戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。所有Alicat質(zhì)量流量控制器均具有NIST可溯源校準(zhǔn)證書。Alicat的21系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力,并顯示氣體溫度,適用
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