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裝片房石墨舟裝片房產品說明本設備是用于太陽能行業(yè)與PECVD承載車配套，裝去硅片，配制過濾器，空氣通過過濾器后，阻尼層均壓，使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片工作區(qū)，從而保證了工作區(qū)達到工藝要求的潔凈度
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