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NewView9000系列的3D光學(xué)表面輪廓儀可以提供強(qiáng)大的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌測(cè)量分析。測(cè)量過程都無損、快速,并且不需要樣品制備。強(qiáng)大的分析軟件可以精準(zhǔn)的描繪和定量分析表面粗糙度、臺(tái)階高度、關(guān)鍵尺寸和其它形貌特征。使用zygo的相干掃描干涉技術(shù),NewView9000系列輪廓儀可以很容易的測(cè)量各種材質(zhì)表面,包括光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺(tái)階面等。
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