1905年,法國工程師 Leon Creux 發(fā)明了渦旋壓縮機,而今渦旋泵被用作無油真空泵。每臺渦旋泵都由兩個阿基米德螺旋件構成,這兩個螺旋件彼此相對并錯開180°,因此形成了若干個大小不一的月牙形凹槽。采用偏心驅動的設計,運動螺旋件相對于固定螺旋件是按確定軌道旋轉,從而縮小了凹槽容積并將氣體從外朝內擠壓,實現(xiàn)抽氣功能。保持精確的制造公差并選擇合適材料對于渦旋泵質量十分重要。
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